申请网站空间就是申请域名,网页微信版官网登录下载,仿站工具下载后咋做网站,怎么改版网站光掩膜版基本上是 IC 设计的“主模板”。掩模版有不同的尺寸。常见尺寸为 6 x 6 英寸一般的掩膜版由石英或玻璃基板组成。光掩膜版涂有不透明薄膜。更复杂的掩模版使用其他材料。 一般来说#xff0c;术语“photo mask”用于描述与 1X 步进机或光刻系统一起使用的“主模板”。…nbsp;nbsp;nbsp;nbsp;光掩膜版基本上是 IC 设计的“主模板”。掩模版有不同的尺寸。常见尺寸为 6 x 6 英寸一般的掩膜版由石英或玻璃基板组成。光掩膜版涂有不透明薄膜。更复杂的掩模版使用其他材料。 一般来说术语“photo mask”用于描述与 1X 步进机或光刻系统一起使用的“主模板”。术语“reticle”用于描述 2X、4X 或 5X 缩小步进器中使用的“主模板”。但是它们基本上是一回事。 掩膜版用在哪里在半导体工艺流程中芯片制造商首先设计 IC然后将其转换为文件格式。然后在光掩模设备中根据该格式生产光掩膜版。掩膜版是 IC 设计的主模板。它复制了原始的 IC 设计图形。 在晶圆厂中掩膜版和晶圆被插入光刻机。将光刻胶涂在晶圆上
。
在操作中光刻机产生光光通过光刻系统中的投影光学器件和掩膜版传输到光刻胶表面即我们所知道的曝光工艺。 怎样制作掩膜版
设计与准备首先需要根据电路设计制作出掩模的版图。这个过程通常使用计算机辅助设计CAD软件来实现。设计好后会生成一个掩模图案的数据文件。选择基板选择适当的基板材料是制作光刻掩模的重要环节。常用的基板材料是石英或玻璃。基板应该具有高透明度、低膨胀系数、高抗拉强度等特性。清洗基板在制作掩模之前需要对基板进行清洗。这一步可以通过使用溶剂、酸、超声波或喷射清洗等方法来去除表面的尘埃和杂质。涂覆光刻胶在清洗干净的基板上涂覆一层光刻胶。光刻胶是一种光敏材料可以通过光的照射发生化学变化从而形成所需的图案。曝光将掩模图案数据文件导入曝光设备如电子束曝光机。设备会将图案转换为光或电子束信号然后逐点扫描光刻胶表面。在曝光过程中光刻胶中的光敏分子会因为光或电子束的照射而发生变化。显影曝光后需要将基板放入显影液中以去除光刻胶中未发生变化的部分。经过显影处理后基板上将形成与掩模图案相符的光刻胶图案。刻蚀使用刻蚀工艺如湿刻蚀或干刻蚀去除基板上未被光刻胶覆盖的部分。这样基板上就形成了与掩模图案相符的凹槽。去除光刻胶使用溶剂或其他方法去除基板上剩余的光刻胶暴露出刻蚀后的凹槽图案。检验与修复对完成的掩模进行检查确保其图案与设计一致且没有缺陷。如有缺陷可以使用修复工艺进行修复 mask set
一个典型的集成电路制造过程可能包括多达数十个不同的掩模这些掩模分别对应于不同的制程步骤如活性区域、接触孔、金属互联线、绝缘层等。每个掩模都包含一个特定层次的图案信息用于将该层次的图案转移到硅片上。
在制造过程中各个掩模按照特定的顺序依次使用以逐层构建集成电路的结构。由于每个掩模都有特定的作用因此mask set中的所有掩模必须精确匹配以确保最终产生的集成电路符合设计规范。
换句话说根据单个设备的不同每台光刻机可能需要 5 到 40 个或更多单独的光掩膜版称为“掩模组” 。复杂的产品需要更多的掩膜版。一个 10nm 的光学掩模可能需要 76 个单独的掩膜版而 28nm 节点掩膜版大约需要 46 个。 掩膜版原理目前的光学光刻系统结合了具有不同波长的光源。当今最常见的光刻系统使用 248nm 和 193nm 波长的光源。
在光刻中掩膜版由玻璃基板上的不透明铬层组成。光掩膜版制造商在选定的位置蚀刻铬从而露出玻璃基板。其他地方没有蚀刻铬材料。在操作中光线照射掩模并穿过玻璃区域从而使晶圆曝光。由于铬对光线的阻挡作用光不会穿过镀铬的区域。 EUV 掩模
使用 13.5 纳米波长极紫外 (EUV) 光刻是下一代技术可在晶圆上图案化微小特征。 EUV 掩膜版不同于光学掩膜版。与普通的光学掩膜版不同 EUV 掩膜版反射 13.5 纳米波长的光。EUV 掩模版由衬底上的 40 到 50 层交替的硅和钼层组成形成 250 纳米到 350 纳米厚的多层堆叠。钌金属层沉积在多层堆叠上随后是钽吸收层。 原创不易欢迎加入我的知识星球答疑解惑资料共享内容比本文丰富很多很多介绍如下点击链接或复制链接到浏览器查看https://mp.weixin.qq.com/s/ZCx7d0vb11KNKDKJJGwRZAnbsp;
